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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体心片心片粗加工厂在晶圆粗加工过程中 中,运行硅烷完成硅概念生長,尾气排放洗滌塔制造高浓硫酸浓度含硅废液。废液具备有pH起伏大(2-11)、硅份量高的性能,傳統补救最简单的方法易出显硅垢空气能管道堵塞状况。 污废水 有效成分及种类 生活污水一般的成分为: 水解性硅酸盐 :SiO₂密度达1000-1500mg/L 氢氧化反应钠/氢氧化反应钠 :洗滌塔酸碱平衡洗滌液残渣 粒子硅 :纳米级级SiO₂悬浊液 痕量砷 :化学原料沉淀物融入 外理制作工艺注意事项 信息化用于"两极采和+膜油烟净化器+蒸发器心得"工序: 二级中合 :用CaO调pH至4-5,转换硅酸钙积淀,硅洗去率60%。 中级结合 :加Na₂CO₃将pH增加至9,进三步积累结余硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透膜系统 :0.02μm淘瓷膜滤出微米级硅粒子,通量稳定性在80LMH。 MVR化掉器 :果汁高盐废液,结晶体出Na₂SO₄副商品,水工业废水处理率超90%。 以后效用 总硅从1500mg/L高于5mg/L以下的 砷含磷量从0.8mg/L降为0.01mg/L 系统的无水垢执行高出2年 每一年的利用浓盐酸钠晶状体约800吨

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