某半导体行业制造出商家因晶圆洗掉步骤引起含氨焦化废水,出水量200吨/天。焦化废水里面的除氧化还原电位外还带有氟化物和进样器血本属,外理困难程度大。本地人排放出规范要求规范要求氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污废水 物质及来历
晶圆除污废水处理(重要种类):含挥发酚200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀繁琐流程生活污水:含少量铜、镍等高价属,pH值上下波动大
CMP研磨设备废气:含硅科粒及化学需氧量
正确处理施工工艺操作流程
适用"无机化学沉淀出的+膜转移+折点氯化"组成加工过程:
预整理
:污泥脱水CaCl2除氟,抑制pH在7.5-8.
反渗透膜系统
:出掉0.01μm往上悬浮物物
反融合精浓
:将高锰酸盐指数原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L之内
折点氯化
:精准度把控氯加药量,将氟化物图片转换为离氮气
阳离子对换
:保驾护航天价属考核标准
以后效用
氟化物稳定可靠<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属水平低过验测限
水中水回用率达75%
废水发生量限制40%