广州某半导集成块生行成产商，晶圆工作阶段中行成含硅、氟的特殊的焦化废污水，构思加工经营规模1200吨/日。焦化废污水成份比较复杂，富含纳米技术级硅颗粒物及盐酸，传统意义加工的方法无发标准。 生活污水材质及特征 注意环境破坏物 ：胶体溶液硅（100-500nm粒级）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 来源于环节 ：晶圆刻蚀废液（45%）、CMP无机化学物理增加光泽废液（40%）、的设备擦洗水（15%） 除理工艺工作流程工作流程 转型升级选取"化学式凝固+珍禽膜破乳"方法路线图： 钙盐析出 ：加药系统氯化钙快速清理氟铁离子（转化成CaF2放置） 斜管沉淀池症状 ：pp斜板沉淀池剂进行固体硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm管径膜挤占微细颗粒肥料 反渗透设备工作会更系統 ：脱盐率>98%，回收处理率75% 汽化成果 ：浓水段进行氟化物零排出 终究实际效果 氟化物密度：<8mg/L（小于我国一层细则10mg/L） 硅份量：<5mg/L 水資源工业废水处理率：70%用做放凉塔补充水分 危废处理减轻：汽化残留量较过去的技艺可以减少60%